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等离子清洗系统GIGA 690
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微波/射频信号发生器(BNC 835-3-M)
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微波/射频信号发生器(BNC 845-H)
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自动光学检测系统(AOI) - Supra Era系列
自动光学检测系统Falcon 800
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分离/萃取设备
离心机9070
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产品系列
NIL**产品
小型纳米压印机
产品简介:
Process is controlled by a programmable PLC with touch screen user interface.
User can customize process parameters.
Wafer and Mold are held by vacuum chuck
UV curable imprint polymer compatible with traditional photolithography process
工艺参数
Wafer size 4 in
Imprintable wafer area 2 in
Imprint pressure 0 - 25 PSI (upgradable to 100 PSI imprint pressure)
Mold substrate size 5 x 0.090 in
Typical imprint throughput < 5 minutes/wafer
设备尺寸及环境要求
Controller Platform
Dimension 5.8 x 16.5 x 12 in 17 x 16 x 15 in
Weight 18.5 LB 45 LB
Environment 10 - 35 C, 65% 10 - 35 C, 65%
Facility requirements
Filtered Pressure source 70 - 100 PSI
Vacuum source <-14 PSI
Power 110-220V, 2A, 50/60 Hz
Clean-room class 1000 or better